主要用于半導(dǎo)體制造、等離子體清洗、太陽(yáng)能電池、平板顯示等行業(yè)及其它物理裝備。
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格
| 電氣規(guī)格 | |
| 輸入電壓 | 3×380V |
| ±10% +PE | |
| 輸入電壓頻率 | 47 ~ 64 Hz |
| 輸入電流 | 額定3*13A |
| 輸入過流保護(hù) | 25A 斷路器 |
| 功效 | 65% 全功率輸出 |
| 功率因數(shù) | 0.90 全功率輸出 |
| 輸出頻率 | 13.56MHz, ±0.005% |
| 輸出功率 | 5kW |
| 功率調(diào)節(jié)范圍 | 50W~5kW |
| 負(fù)載阻抗 | 50Ω |
| 通信接口 | RS485（MODBUS協(xié)議）/模擬用戶口 |
| 物理規(guī)格 | |
| 外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 720mm×439mm×123mm |
| 重量 | 30Kg |
| 安裝方式 | 19英寸機(jī)架 |
| 冷卻方式 | 水冷 |
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