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射頻電源

Radio frequency (rf) power supply

HSP系列射頻電源可提供1~5kW射頻功率，擁有更強(qiáng)的功率和阻抗測量性能，能夠在 13.56MHz 固定頻率、50歐姆和非50歐姆負(fù)載下（電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1），帶來穩(wěn)定的功率輸出和控制性能。能夠快速的與等離子阻抗保持實時同步匹配，從而實現(xiàn)工藝的精確性、可重復(fù)性。

產(chǎn)品特點：

■ 高效E類開關(guān)轉(zhuǎn)換模式；

■ 采用高頻晶體管，體積小，壽命長，損耗低，結(jié)構(gòu)緊湊；

■ 精密閉環(huán)控制，頻率誤差?。?/span>

■ 輸出功率穩(wěn)定度高；

■ 配套自動匹配模塊，阻抗自動匹配；

■ 自動匹配有反射系數(shù)小，速度快；

■ 具有限流、限壓、過流、過壓及短路等完善的監(jiān)控與保護(hù)功能；

■ 水冷或風(fēng)冷散熱